無塵室的等級介紹
- 日期：2021-08-16
- 分類：工程知識
無塵室是什麼?原來無塵室也有等級之分!
- 無塵室等級介紹及應用 -
無塵室為嚴格控管氣懸微粒濃度的場所，力
求避免微粒引入、產生及滯留，並在需求範
圍內控制其溫濕度、氣流分佈、調節壓力、
防止靜電等，多應用於對環境潔淨度特別敏
感的行業，例如半導體生產、生化技術、生
物技術、精密機械、製藥、食品和醫院內的
手術室等行業。
無塵室的等級介紹
依等級不同，對空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644-1。數值越小，潔淨程度就越高。
註:表上方的顆粒尺寸為0.5µm，例:Class 10 代表一立方英尺中，大於0.5µm的微塵粒子量不超過10。
無塵室的等級應用
一、工業用無塵室
二、各產業無塵室
